📑Lieferung einer Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage fur die Laserpulsabscheidung (PLD).
Procurement process summary
This process is to purchase Lieferung einer Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage fur die Laserpulsabscheidung (PLD).
This contract was awarded by 🇩🇪 Hochschule Mittweida for an amount of EUR 849,000 to 1 supplier. It was published on 2014-07-02 through open
Transparency in this process is reflected in the detailed publication of all aspects of the contract and its results.
Buying entity🇩🇪 Hochschule Mittweida Buying unitnot reported Publication date2014-07-02 Contest statusnot reported DescriptionAusgehend von konzeptionellen Vorarbeiten des Auftraggebers ist eine Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage fur die Laserpulsabscheidung (PLD) von dunnen Schichten und Mehrschichtsystemen zu konstruieren und zu bauen. Die Anlage soll die aufeinander folgende Beschichtung von wenigstens 5 ebenen Substraten mit 4 Zoll Durchmesser mit dickenhomogenen, kontaminations- und partikulatfreien Schichtstapeln aus 10 verschiedenen Materialien im Ultrahochvakuum ermoglichen. Sie soll modular aufgebaut sein, das heisst aus einer Beschickungs- und Entnahmekammer und 2 Beschichtungskammern bestehen, wobei der Transport des zu beschichtenden Substrats aus einem Substratmagazin in der Beschickungs- und Entnahmekammer wahlweise in eine der Beschichtungskammern uber Schleusen zu realisieren ist. In der Beschichtungskammer 1 werden Target und Substrat parallel zueinander in einem vorgegebenen Abstand angeordnet, wie es fur das PLD-Verfahren ublich ist. Die Beschichtungskammer 2 soll aus 2 Teilkammern (Targetkammer und Substratkammer) mit einem dazwischen angeordneten 90deg Magnetspulenablenksystem bestehen, so dass dementsprechend Target und Substrat senkrecht zueinander angeordnet sind. Jede Kammer ist mit einem Targetwechsler und einem heiz- und kuhlbaren Substrathalter mit Substratbewegungssystem ausgestattet, so dass in beiden Kammern unabhangig von einander ohne Umbauten alternierend beschichtet werden kann. Target (bzw. Targetwechsler) und Substrat mussen sich auf einem computergesteuerten Target- bzw. Substratbewegungssystem angeordnet sein. Daruber hinaus sind Ionenquellen fur die Substratreinigung, den Ionenbeschuss aufwachsender Schichten und die Reinhaltung der Einkoppelfenster fur die Laserstrahlen sowie ein in-situ Ellipsometer fur die Kontrolle des Schichtwachstums und Gerate (Pyrometer und Thermoelemente) fur die Substrattemperaturmessung zu implementieren. Ausserdem soll die vollautomatische Steuerung des Beschichtungsprozesses moglich sein. Laser und Optiken fur die Laser sind nicht Bestandteil der Ausschreibung.Awards
This award was granted to creavac Creative Vakuumbeschichtung GmbH by Hochschule Mittweida for an amount of EUR 849,000. The procurement process was conducted through open for the category of goods. The award was granted on 2014-09-26. This is award number 1.
| Supplier | Amount | Award date | Award number |
|---|---|---|---|
| 🇩🇪 creavac Creative Vakuumbeschichtung GmbH | EUR 849,000 | 2014-09-26 | 1 |
Market context and opportunities
The execution of this contract allows the entity Hochschule Mittweida to fulfill its public service objectives efficiently.
The open purchase modality ensures that the process is transparent and compliant with regulations.
Transparency in this process is reflected in the detailed publication of all aspects of the contract and its results.
This transparency in public procurement promotes fair competition, prevents corruption, and ensures that public resources are used efficiently for the benefit of citizens.
Additional data
Contract NumberDE_ocds-70d2nz-f9103eb2-2d5f-4ac9-bc9e-78bce692b12f-award-1Publication date2014-07-02Contract datenot reportedAward date2014-09-26CategoriesgoodsPurchase modalityopenMethod detailspt_openStatusnot reportedData sources
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